【摘 要】
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本专利介绍一种用于制作热释电薄膜型红外传感器的方法.这种制作方法是在一块衬底上实施的。先在衬底的顶部表面上固定一个预先已确定好厚度的下层电极(22),然后将一层热释
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本专利介绍一种用于制作热释电薄膜型红外传感器的方法.这种制作方法是在一块衬底上实施的。先在衬底的顶部表面上固定一个预先已确定好厚度的下层电极(22),然后将一层热释电薄膜(24)放在衬底和下层电极的顶部表面的规定区域上,最后在热释电薄膜规定区域的上部固定一个上层电极(25)。这种制作方法的优点是,可以提高红外传感
This patent describes a method for making a pyroelectric thin-film type infrared sensor that is implemented on a single substrate. First, a lower electrode (22) of a predetermined thickness is fixed on the top surface of the substrate, and then a layer of the pyroelectric thin film (24) is placed on a prescribed area of the top surface of the substrate and the lower electrode. Finally, An upper electrode (25) is fixed to the upper part of the prescribed area of the pyroelectric film. The advantage of this production method is that it can improve the infrared sensing
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