热释电薄膜型红外传感器的制作

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本专利介绍一种用于制作热释电薄膜型红外传感器的方法.这种制作方法是在一块衬底上实施的。先在衬底的顶部表面上固定一个预先已确定好厚度的下层电极(22),然后将一层热释电薄膜(24)放在衬底和下层电极的顶部表面的规定区域上,最后在热释电薄膜规定区域的上部固定一个上层电极(25)。这种制作方法的优点是,可以提高红外传感 This patent describes a method for making a pyroelectric thin-film type infrared sensor that is implemented on a single substrate. First, a lower electrode (22) of a predetermined thickness is fixed on the top surface of the substrate, and then a layer of the pyroelectric thin film (24) is placed on a prescribed area of ​​the top surface of the substrate and the lower electrode. Finally, An upper electrode (25) is fixed to the upper part of the prescribed area of ​​the pyroelectric film. The advantage of this production method is that it can improve the infrared sensing
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