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针对微细电火花加工伺服控制系统的要求,进行了微细电火花加工伺服控制系统总体设计。伺服控制系统特点是执行机构采用步进电机＋压电陶瓷的宏微组合式驱动机构,实现了大行程和小步距的有机结合,能够提高电火花加工机床的加工性能。同时Z轴增加一个振动源,实现自动排屑和微调加工间隙。通过实验验证,证明系统运行良好,运动平台能够达到较高的精度,并实现了简单的极微细电火花加工。