【摘 要】
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加州帕洛·阿尔托晶体技术公司打算于1987年1月宣布一种集成光学元件铸造装置,这个耗资200万美元的装置是为制造集成光学元件专门设计的,有100级清洁室和10级工作站。公司的
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加州帕洛·阿尔托晶体技术公司打算于1987年1月宣布一种集成光学元件铸造装置,这个耗资200万美元的装置是为制造集成光学元件专门设计的,有100级清洁室和10级工作站。公司的特点是具有室内材料生长、基片制造、先进光刻的能力,其中包括图形发生器和
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