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<正> 特种气体按其化学物质结构可分为: 1.硅类;硅烷、二氯二氢硅、三氯硅烷、四氟化硅、乙硅烷等; 2.砷类:砷烷、三氟化砷、五氟化砷、三氯化砷、五氯化砷等; 3.磷类;磷烷、三氟化磷、五氟化磷、三氯化磷、五氯化磷、三氯化钋等; 4.硼类:硼烷、三氟化硼、三氯化硼、三溴化硼等;
日本特种气体市场销售趋势
【摘 要】
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<正> 特种气体按其化学物质结构可分为: 1.硅类;硅烷、二氯二氢硅、三氯硅烷、四氟化硅、乙硅烷等; 2.砷类:砷烷、三氟化砷、五氟化砷、三氯化砷、五氯化砷等; 3.磷类;磷烷、
【机 构】
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杭州制氧机研究所;
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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1988年02期
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