【摘 要】
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采用GD-450A型真空镀膜机,极限真空为5×10~(-6)mmHg,最大功率为5.5kW。每对电极允许通过的最大电流为188A。蒸发器是用0.2mm厚的钽片做成舟形(如图1所示)。基片采用2mm厚的
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采用GD-450A型真空镀膜机,极限真空为5×10~(-6)mmHg,最大功率为5.5kW。每对电极允许通过的最大电流为188A。蒸发器是用0.2mm厚的钽片做成舟形(如图1所示)。基片采用2mm厚的普通窗玻璃、裁成所需的形状和大小。基片架是用紫铜板做成,固定在一个密封轴上,可以在真空室外控制基片架水平移动。装置如图2所示。
Using GD-450A vacuum coating machine, the ultimate vacuum of 5 × 10 ~ (-6) mmHg, the maximum power of 5.5kW. Each pair of electrodes allows the maximum current 188A. Evaporator is made of 0.2mm thick tantalum boat shape (Figure 1). The substrate is 2mm thick with ordinary window glass, cut to the desired shape and size. The substrate holder is made of copper plate, fixed on a sealing shaft, which can control the horizontal movement of the substrate holder in the vacuum chamber. Device shown in Figure 2.
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