【摘 要】
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这种新型激光干涉仪用来测量微型元件,灵敏度高,精度稳定可靠。其光程差由两对棱镜和一个能产生微小差动位移的微动工作台加以放大,以提高10倍灵敏度。利用角隅棱镜的双轴性,
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这种新型激光干涉仪用来测量微型元件,灵敏度高,精度稳定可靠。其光程差由两对棱镜和一个能产生微小差动位移的微动工作台加以放大,以提高10倍灵敏度。利用角隅棱镜的双轴性,将光线在角隅棱境之间进行多次反射。仪器中光学零件的合理布置可减小热线胀系数和空气折射率的影响。
The new laser interferometer used to measure micro-components, high sensitivity, accuracy and reliability. The optical path difference is amplified by two pairs of prisms and a micro-motion table that produces a slight differential shift to increase the sensitivity by 10 times. Using the biaxiality of the corner cube, the light is reflected multiple times between the corner edges. The rational arrangement of the optical components in the instrument can reduce the influence of the thermal expansion coefficient and the refractive index of the air.
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