自持金刚石厚膜上沉积ZnO薄膜的研究

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：velvet_flower

【摘要】

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ZnO/金刚石结构的表面声学波滤波器的性能主要取决于沉积ZnO薄膜的质量.本文用金属有机化合物气相沉积两步生长法在自持化学气相沉积金刚石厚膜的成核面上制备了ZnO薄膜,并用

【作者】

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【机构】

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大连理工大学三束材料改性国家重点实验室物理系,大连理工大学物理系,大连理工大学物理系,吉林大学集成光电子国家重点实验室电子科学与工程学院

【出处】

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真空科学与技术学报

【发表日期】

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2006年z1期

【关键词】

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ZnO/金刚石结构的表面声学波滤波器的性能主要取决于沉积ZnO薄膜的质量.本文用金属有机化合物气相沉积两步生长法在自持化学气相沉积金刚石厚膜的成核面上制备了ZnO薄膜,并用X射线衍射谱,扫描电子显微镜和室温光荧光谱对薄膜质量进行了表征.结果表明得到的ZnO薄膜取向一致,表面较均匀,光学质量良好.

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