【摘 要】
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分别用m(Zr) /m(Ti)配比为 30 / 70、5 3/ 4 7、70 / 30的源材料及陶瓷块状靶和预烧粉末靶的形式 ,在Ag、Au、Pt衬底上溅射制取PZT薄膜 .比较分析了薄膜的钙钛矿结构形成情况
【机 构】
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暨南大学物理系,暨南大学物理系,清迈大学物理系 广东广州510632,广东广州510632,泰国清迈50200
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分别用m(Zr) /m(Ti)配比为 30 / 70、5 3/ 4 7、70 / 30的源材料及陶瓷块状靶和预烧粉末靶的形式 ,在Ag、Au、Pt衬底上溅射制取PZT薄膜 .比较分析了薄膜的钙钛矿结构形成情况 ,所需的热处理温度及铁电特性 .研究表明 :靶材的配比靠近 30 / 70时较容易获得钙钛矿结构 ;用预烧粉末靶或用Ag衬底可降低热处理温度 ;用Au、Pt衬底能得到较好的电学特性 .
In the form of source material, ceramic bulk target and calcined powder target with m (Zr) / m (Ti) ratio of 30/70, 53/47, 70/30, PZT thin films were prepared by sputtering on the bottom, and the formation of perovskite structure, the required heat treatment temperature and the ferroelectric properties were compared and analyzed.The results show that perovskite Structure; use of calcined powder target or Ag substrate can reduce the heat treatment temperature; Au, Pt substrate can get better electrical properties.
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