用于MEMS器件的ASIC集成温度传感器设计

来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zwzwzrzr

【摘要】

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【作者】

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李雨佳杨拥军任臣刘德盟

【出处】

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微纳电子技术

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

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温度传感器 Σ-Δ调制器功率损耗微电子机械系统(MEMS) 专用集成电路(ASIC)

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