【摘 要】
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本文对离子束溅射生成气敏膜作了研究.与烧结陶瓷气敏传感器比较,溅射生成气敏膜对乙醇气体具有灵敏度高,长期稳定,对其它气体选择性好,而且响应恢复时间快.采用X光衍射等手
【机 构】
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北京有色金属研究总院,北京师范大学,北京师范大学,北京师范大学 北京市100875,北京市100875,北京市100875
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本文对离子束溅射生成气敏膜作了研究.与烧结陶瓷气敏传感器比较,溅射生成气敏膜对乙醇气体具有灵敏度高,长期稳定,对其它气体选择性好,而且响应恢复时间快.采用X光衍射等手段分析离子束溅射膜的品质,表明材料组织结构相同,与基片附着性好,组织致密.
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