基衬转动法制备自支撑靶

来源 :中国原子能科学研究院年报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:alanhoo
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基衬转动法制备核靶具有材料利用率高和靶的均匀性好等优点。1991年我们用基衬转动法制备了十几种有衬底靶,在此基础上,我们又研制成制备自支撑靶的新技术,从而扩展了转动基衬法制靶的适用范围。我们用甜菜硷作脱膜剂,玻璃作基衬,4mm×20mm的Ta,Mo和W舟作蒸发源。试制成的自支撑靶如表1所示。 The advantage of high material utilization rate and good uniformity of the target is that the nucleation target prepared by the lining rotation method has the advantages of good performance. In 1991, we prepared a dozen of target substrates by using the substrate rotation method. On this basis, we developed a new technology for the preparation of self-supporting targets, thus extending the application range of the rotary backing substrate. We use betaine as a release agent, glass as a backing, 4mm × 20mm Ta, Mo and W boat for evaporation source. Table 1 shows self-supporting targets.
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