一种新型CO气敏双层薄膜材料

来源 :中国环境监测 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yyxgxgxg

【摘要】

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介绍了一种新型结构CO气敏的半导体薄膜材料——粉末溅射方法制备的表面层掺杂SnO2/SnO2:Pt双层膜的气敏特性.分析了双层膜中的导电层厚度对气敏特性的影响,并对气敏机理的有

【作者】

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【机构】

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山东大学物理与微电子学院

【出处】

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中国环境监测

【发表日期】

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2001年5期

【关键词】

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介绍了一种新型结构CO气敏的半导体薄膜材料——粉末溅射方法制备的表面层掺杂SnO2/SnO2:Pt双层膜的气敏特性.分析了双层膜中的导电层厚度对气敏特性的影响,并对气敏机理的有关问题进行了讨论.

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