CVD金刚石膜热沉表面金属化

来源 :金属热处理学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：dingzhiyoulan

【摘要】

：

提出一种金刚石膜热沉表面金属化新工艺.该工艺采用Ti/Ni/Au体系和电子束真空镀膜方法,并经过金刚石膜预处理和后续低温真空热处理获得了良好的结合性能.研究表明:预处理对金

【作者】

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潘存海杜素梅李桓李俊岳徐英惠

【机构】

：

天津大学材料科学与工程学院,天津工业大学,河北省科学院

【出处】

：

金属热处理学报

【发表日期】

：

2003年1期

【关键词】

：

金刚石膜金属化预处理结合强度热沉 CVD diamond metallization prefiring adhesion thermal ma

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提出一种金刚石膜热沉表面金属化新工艺.该工艺采用Ti/Ni/Au体系和电子束真空镀膜方法,并经过金刚石膜预处理和后续低温真空热处理获得了良好的结合性能.研究表明:预处理对金属层和金刚石膜的结合强度影响显著,结合强度由原来的14.0MPa提高到48.9MPa;金刚石膜/Ti/Ni/Au经过100次从203K到423K冷热循环,金属和金刚石膜之间没有发现脱膜现象.XRD进一步证实:经过后续673K×2h低温真空热处理,Ti/金刚石膜界面形成TiO和TiC.Ti和金刚石膜之间的扩散与反应产物不仅取决于

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