【摘 要】
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近几年来,金刚石气相合成技术发展很快。现在,已经有几家公司实现了金刚石薄膜的商品化。但金刚石薄膜利用范围还很有限。为了扩大其应用范围,还有许多问题需要解决。提高金
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近几年来,金刚石气相合成技术发展很快。现在,已经有几家公司实现了金刚石薄膜的商品化。但金刚石薄膜利用范围还很有限。为了扩大其应用范围,还有许多问题需要解决。提高金刚石薄膜在基体上的附着性能,便是其中的一个重要问题。
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