【摘 要】
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本文报道了在研制聚酰亚胺衬底的软Ｘ射线透射光栅的基础上￣［１］，采用全息－离子束刻蚀方法和微电镀技术研制成功了无衬底自支撑的软ｘ射线针孔透射光栅，简要地介绍了工艺过程并给出了实验
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本文报道了在研制聚酰亚胺衬底的软Ｘ射线透射光栅的基础上￣［１］，采用全息－离子束刻蚀方法和微电镀技术研制成功了无衬底自支撑的软ｘ射线针孔透射光栅，简要地介绍了工艺过程并给出了实验结果．
This paper reports the development of a soft X-ray transmission grating based on polyimide substrate [1], using holographic - ion beam etching method and micro-electroplating technology successfully developed a non-substrate self-supporting soft x-ray needle The hole transmissive grating briefly introduces the process and gives the experimental results.
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