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【摘 要】
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在CH4/H2气氛下,利用直流热阴极PCVD(plasma chemical vapor deposition)设备,在高CH4流量下制备纳米金刚石膜。对制备的样品通过扫描电子显微镜、拉曼光谱仪、X射线衍射仪对
【机 构】
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牡丹江师范学院理学院,牡丹江师范学院新型碳基功能与超硬材料黑龙江省重点实验室,牡丹江师范学院工学院,
【出 处】
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真空
【发表日期】
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2013年05期
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