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,Low-Temperature Deposition of nc-SiOx∶H below 400℃ Using Magnetron Sputtering
【机 构】
：
Hebei Key Laboratory of Optic-Electronic Information Materials, College of Physics Science and Techn
【出 处】
：
中国物理快报（英文版）
【发表日期】
：
2015年4期
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