超声喷雾法工艺及薄膜性能研究

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研究了超声喷雾法制备工艺对膜性能影响的关系,初步探讨了该方法的适用范围,以SnO2为例研究了成膜动力学,为该方法适用化提供了依据。 The relationship between the influence of the ultrasonic spray process on the film properties was studied. The applicable range of the method was discussed preliminarily. The SnO2 film was used as an example to study the film formation kinetics, which provided the basis for the application of the method.
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