【摘 要】
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使用非平衡磁控溅射方法,以C2H2为反应气,C2F2为氟化气沉积了含氟和不含氟的类金刚石(DLC)薄膜.用X射线光电子谱仪(XPS)及Raman光谱仪分析薄膜的成分及结构.试验了薄膜的力学
【机 构】
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"华中理工大学;Imperial College of Science Technology and Medicine.UK;Teer coatings Ltd.;
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使用非平衡磁控溅射方法,以C2H2为反应气,C2F2为氟化气沉积了含氟和不含氟的类金刚石(DLC)薄膜.用X射线光电子谱仪(XPS)及Raman光谱仪分析薄膜的成分及结构.试验了薄膜的力学性能并讨论了组织结构对性能的影响.结果表明,含氟DLC仍具有典型的DLC的Raman光谱特性.氟降低薄膜中的I(D)/I(G)比率,使薄膜中的SP3键相对含量下降.随着氟含量的增加,DLC的硬度下降,摩擦系数减小.适当含量F元素可以提高薄膜划痕试验的临界负荷,增加薄膜与基体的结合强度.
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