【摘 要】
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序言 本国际标准的目的,是保证溅射离子泵的性能测量尽可能地在统一的条件下有一个统一 的测量程序。希望它能使得由各制造厂或各实验室指导下的测量,以及在制造厂文件中引用
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序言 本国际标准的目的,是保证溅射离子泵的性能测量尽可能地在统一的条件下有一个统一 的测量程序。希望它能使得由各制造厂或各实验室指导下的测量,以及在制造厂文件中引用 的性能说明,将会有一个恰当的比较基础,这对用户和制造厂都有好处。 我们非常重视能有一个圆满的国际?
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