,Effect of Abrasive Concentration on Chemical Mechanical Polishing of Sapphire

来源 :中国物理快报（英文版） | 被引量 : 0次 | 上传用户：tanweitao610

【作者】

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【机构】

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State Key Laboratory of Functional Materials for Informatics, Laboratory of Nanotechnology, Shanghai

【出处】

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中国物理快报（英文版）

【发表日期】

：

2015年8期

【关键词】

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