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【摘 要】
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气敏半导体薄膜内的载流子浓度与薄膜表面吸附氧密度的关系,可以反映气敏薄膜的敏感性。本文采用刚性能带模型,计算了不同厚度的ZnO薄膜内载流子浓度与表面吸附氧密度的关系,
【机 构】
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山东工业大学基础课教学部,山东工业大学基础课教学部,山东工业大学基础课教学部,山东工业大学基础课教学部,
【出 处】
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山东工业大学学报
【发表日期】
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1988年01期
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