【摘 要】
：
由DZ宽度与退火时间和温度的关系曲线,测定了含氧硅在N_2、O_2、O_2~+5％HCI气氛中退火时硅中间隙氧的外扩散激活能。实验表明:在氧化气氛中退火,有利于原始硅片中潜在微缺陷的
【机 构】
：
四川大学,四川大学 1982级半导体班毕业生,1982级半导体班毕业生
论文部分内容阅读
由DZ宽度与退火时间和温度的关系曲线,测定了含氧硅在N_2、O_2、O_2~+5％HCI气氛中退火时硅中间隙氧的外扩散激活能。实验表明:在氧化气氛中退火,有利于原始硅片中潜在微缺陷的消除和推迟间隙氧的沉淀,增强间隙氧的外扩散,可获得较宽的DZ.
The diffusion activation energy of interstitial oxygen in silicon during annealing of oxygen-containing silicon in N 2, O 2, O 2 ~ + 5% HCl atmosphere was measured from the relationship between DZ width and annealing time and temperature. Experiments show that annealing in an oxidizing atmosphere is favorable for the elimination of potential micro-defects in the original silicon wafer and the postponement of the interstitial oxygen precipitation, and the enhancement of the interstitial oxygen diffusion so that a wider DZ can be obtained.
其他文献
第14章短冲、比赛配速和恢复训练(续)Sprint,Race-pace,and Recovery Training大周期安排在一个大周期的所有训练阶段中,适当数量的水中爆发力训练应是训练计划中的组成部分
近年来,公务用车造成极大浪费、引发许多矛盾、败坏党风政风、导致腐败滋生,一直是群众反映的热点问题。改革公务用车机制呼声日高,许多地
In recent years, official vehic
班主任在带班过程中无论如何有针对性地施教、采取各种预防措施,也不免会遇到学生遭受校园暴力的情况。因此,如何及时处理好突发的校园暴力事件,把各种不良影响特别是对学生
用离子束溅射方法制成了非晶态软磁薄膜,具有良好的软磁特征。本文研究了离子能量、氩气压强、沉积速率和入射角对磁膜性能的影响。
An amorphous soft magnetic film was p
<正>我国是一个历史悠久的文明古国,在广袤的中华大地上,遍布地表和蕴藏地下的古代遗物、遗迹极为丰富。它们形象地记录了各个历史时期人民生活和生产的场景,反映了在适应和
本文用化学腐蚀方法研究 LiNbO_3基片表面加工损伤层的腐蚀特征,并用 X 线双晶衍射法测得不同的表面加工及处理条件对加工损伤层的影响。借助衍射线峰宽的精确测定可以跟踪
Mum:It’s time to go to bed.睡觉时间到了。Sam:Mom,I’m not sleepy.妈妈,我现在还不困呢。Mum:It’s already 10 o’clock.已经10点了。You’d better go to sleep.你最
本文进一步发挥了电容开关宏模块和广义节点的概念,给出了进一步简化的元件数据结构,提供了开关电容网络时域和频域求解的计算机方法,特别对含有非线性元件的开关电容网络进
写作是人们交流思想情感、传播信息、沟通公共关系的工具。人类产生了文字,进入文明社会以后,就离不开这个工具了。特别是当今时代对新型人才提出了这样的要求:即既懂专业,又