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利用场发射扫描电镜配置的Feature夹杂物自动扫描系统,对U75V重轨钢RH真空处理过程中夹杂物成分和数量分布进行了系统研究.结果表明:重轨钢在RH真空处理过程中夹杂物主要为低熔点的CaO-SiO2-Al2 O3系和高熔点CaO-MgO-Al2 O3系两类,其中,CaO-MgO-Al2 O3系夹杂一般是以纯MgO为核心,CaO-SiO2-Al2 O3-MgO-K2 O夹杂包裹生成的复合夹杂物;随着RH真空处理地进行,重轨钢中夹杂物数密度呈现明显下降趋势,真空保持15 min后,钢液中夹杂物累计去除率高达76.2％;在RH真空处理阶段,高熔点CaO-MgO-Al2 O3系夹杂和低熔点CaO-SiO2-Al2 O3系夹杂去除有明显差别,真空保持15 min时,高熔点CaO-MgO-Al2 O3系夹杂的数密度下降75.5％,低熔点CaO-SiO2-Al2 O3系夹杂仅下降16.2％.