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针对以“新基建”为代表的通信领域对高功率、高性能电子元器件的需求,阐述了氮化铝陶瓷基板的优点和工艺复杂性;针对性开发高温烧结设备,并据此进行氮化铝陶瓷高温烧结工艺试验,分析了升降温速率、气氛场、烧结温度和时间等因素对高温烧结产品性能的影响.
氮化铝高温隧道烧结炉设计及r试验研究
【摘 要】
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针对以“新基建”为代表的通信领域对高功率、高性能电子元器件的需求,阐述了氮化铝陶瓷基板的优点和工艺复杂性;针对性开发高温烧结设备,并据此进行氮化铝陶瓷高温烧结工艺
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十八研究所,湖南 长沙 410111
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2020年4期
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