【摘 要】
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多孔硅是一种新形态的硅材料,它的应用领域十分广泛。本文综述介绍了多孔硅的制备和特性,深入分析了多孔硅的形成机制,并简单给出了多孔硅的主要应用。
Porous silicon is a
【机 构】
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东南大学微电子中心,东南大学微电子中心 江苏南京210018,江苏南京210018
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多孔硅是一种新形态的硅材料,它的应用领域十分广泛。本文综述介绍了多孔硅的制备和特性,深入分析了多孔硅的形成机制,并简单给出了多孔硅的主要应用。
Porous silicon is a new form of silicon material, which has a wide range of applications. In this review, the preparation and properties of porous silicon are introduced. The formation mechanism of porous silicon is deeply analyzed. The main applications of porous silicon are given briefly.
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