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【摘 要】
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This paper presents a new fabrication process for the SOI-based novel miniature electric field sensor. This new process uses polyimide film to release the SiO_2
【机 构】
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State Key Laboratory of Transducer Technology,Institute of Electronics,Chinese Academy of Sciences,U
【出 处】
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Journal of Semiconductors
【发表日期】
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2013年08期
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