铀上激光辅助化学气相沉积铝薄膜研究

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Ada111222333
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为了防止金属铀的腐蚀,本文采用激光辅助化学气相沉积在铀上制备了铝薄膜。采用扫描电镜、X射线衍射、俄歇电子探针分析了薄膜的形貌、物相以及界面特性,并采用电化学极化曲线对薄膜的抗腐蚀性能分析。结果表明,无激光辐照CVD沉积铝薄膜呈微球状,激光辐照后形成了铝薄膜。激光能量低于100 mJ所形成的铝薄膜致密、平整、光滑。较高能量下,薄膜出现火山坑形貌,粗糙度增加。界面处存在UAl2以及UAl3相,且界面处铝以及铀元素成分呈梯度变化。电化学实验表明:铀上激光CVD铝具有优异的抗腐蚀性能,抗腐蚀性能的提高源于薄膜的致密性提高以及界面处形成了铀铝化合物。 In order to prevent the corrosion of metallic uranium, laser assisted chemical vapor deposition was used to prepare the aluminum film on uranium. The morphology, phase and interfacial properties of the films were analyzed by scanning electron microscopy, X-ray diffraction and Auger electron probe. The corrosion resistance of the films was analyzed by electrochemical polarization curves. The results show that laser-deposited aluminum film deposited by CVD is microspherical and formed an aluminum film after laser irradiation. The aluminum film formed by laser energy less than 100 mJ is dense, smooth and smooth. At higher energies, the volcanic pits appear in the film and the roughness increases. There are UAl2 and UAl3 phases in the interface, and the composition of aluminum and uranium in the interface changes gradiently. Electrochemical experiments show that: laser CVD aluminum uranium has excellent corrosion resistance, corrosion resistance increased from the denseness of the film and the formation of uranium aluminum compounds at the interface.
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