应用SMIF技术促进高量产Fab的更新升级

来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lanmei01

【摘要】

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鉴于芯片特征尺寸不断缩小,制造技术不断推进许多工厂面临挑战.为了降低成本减少风险,对现有的操作冲击最小,德州仪器公司(TI)选用标准机械接口(SMIF)技术作为fab的设施升级

【机构】

：

德州仪器公司Asyst技术公司;

【出处】

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电子工业专用设备

【发表日期】

：

2004年3期

【关键词】

：

标准机械接口(SMIF) SMIF小室自动物料处理系统(AMHS) SMIF围护 SMIF标识符

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鉴于芯片特征尺寸不断缩小,制造技术不断推进许多工厂面临挑战.为了降低成本减少风险,对现有的操作冲击最小,德州仪器公司(TI)选用标准机械接口(SMIF)技术作为fab的设施升级手段.本文讨论了选用SMIF技术的原因,公司预期项目的结果,以及使选用的SMIF系统可能产生的负面效应降低到最低.关于安装和工艺判定随项目的结果评述.

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