【摘 要】
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本文概述了离子束刻蚀及其工艺设备的基本原理，微型机在离子束刻蚀控制中的任务和对它的要求。并结合实际研究工作，介绍了一个微型机系统及其应用软件。最后对微型机应用中的体
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本文概述了离子束刻蚀及其工艺设备的基本原理，微型机在离子束刻蚀控制中的任务和对它的要求。并结合实际研究工作，介绍了一个微型机系统及其应用软件。最后对微型机应用中的体会做了简要的说明。
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