【摘 要】
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解决产品高性能与低价格之间的矛盾,沿着系统及产品小型化、智能化、集成化的发展方向,微机电系统MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)技术开辟了一个全新的研发领域。为
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解决产品高性能与低价格之间的矛盾,沿着系统及产品小型化、智能化、集成化的发展方向,微机电系统MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)技术开辟了一个全新的研发领域。为了推广MEMS技术,促进其工业领域中的应用,扩大MEMS器件的市场,本刊策划于近期开
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