【摘 要】
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本文采用真空阴极电弧沉积方法在纯钛球顶扬声器振膜基体上沉积类金刚石（ＤＬＣ）薄膜。研制成ＤＬＣ／Ｔｉ复合球顶振膜。着重讨论了钛基体的材质、厚度、振膜形状尺寸、ＤＬＣ镀膜工艺参数对复合振膜性
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本文采用真空阴极电弧沉积方法在纯钛球顶扬声器振膜基体上沉积类金刚石（ＤＬＣ）薄膜。研制成ＤＬＣ／Ｔｉ复合球顶振膜。着重讨论了钛基体的材质、厚度、振膜形状尺寸、ＤＬＣ镀膜工艺参数对复合振膜性能的影响，并讨论了在镀膜过程中采用辅助工夹具以及合理的遮挡技术，保证振膜不变形和最佳的ＤＬＣ膜层厚度与分布，使ＤＬＣ／Ｔｉ球顶复合振膜频响达３０ｋＨｚ。
In this paper, vacuum cathodic arc deposition method is used to deposit diamond-like carbon (DLC) film on the substrate of pure titanium dome speaker diaphragm. Developed DLC / Ti composite dome diaphragm. The effects of the material, thickness, shape and size of the diaphragm, DLC coating process parameters on the performance of the composite diaphragm are discussed emphatically. Auxiliary fixture and reasonable shielding technology are discussed in the coating process to ensure that the diaphragm does not deform and The best DLC film thickness and distribution, the DLC / Ti dome composite diaphragm frequency response up to 30kHz.
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《聚氨酯工业》《聚氨酯工业》创刊于1986年,由中国聚氨酯工业协会和江苏省化工研究所有限公司主办,国内唯一公开发行的聚氨酯行业专业性科技刊物,现为中文核心期刊、中国科