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离子交换树脂专用再生系统用产品
离子交换树脂专用再生系统用产品
来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mswangnan098
【摘 要】
:
<正> 为攻关18MΩ·cm<25℃>高纯水,提高应用离子交换树脂<以下简称树脂>的技术水平,改变当前树脂用户各搞一套、分散落后的树脂再生方式,北京市经委和北京市政府电子办
【作 者】
:
同静亭
【机 构】
:
北京半导体器件十二厂100052
【出 处】
:
半导体技术
【发表日期】
:
1991年4期
【关键词】
:
高纯度水
离子换树脂
再生系统
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<正> 为攻关18MΩ·cm<25℃>高纯水,提高应用离子交换树脂<以下简称树脂>的技术水平,改变当前树脂用户各搞一套、分散落后的树脂再生方式,北京市经委和北京市政府电子办公室下达了直用型树脂研制任务。北京半导体器件十二厂经过三年多的努力完成了试制任
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