【摘 要】
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本文介绍了MOCVD化合物半导体的装置、材料及其器件应用的现状与发展,并对此方法的基础研究进展、安全等问题也做了讨论。
This paper introduces the status quo and devel
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本文介绍了MOCVD化合物半导体的装置、材料及其器件应用的现状与发展,并对此方法的基础研究进展、安全等问题也做了讨论。
This paper introduces the status quo and development of MOCVD compound semiconductor devices, materials and their device applications. The basic research progress, safety and other issues are also discussed.
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