【摘 要】
：
针对目前清洗技术存在的问题进行了详细分析,研究了微电子材料表面污染物的来源及其危害,并介绍了表面活性剂在颗粒去除方面的作用。研究了化学机械抛光(CMP)后Cu布线片表面
论文部分内容阅读
针对目前清洗技术存在的问题进行了详细分析,研究了微电子材料表面污染物的来源及其危害,并介绍了表面活性剂在颗粒去除方面的作用。研究了化学机械抛光(CMP)后Cu布线片表面的颗粒吸附状态,分析了铜片表面颗粒的吸附机理。采用非离子表面活性剂润湿擦洗方法,使Cu表面的颗粒处于易清洗的物理吸附状态。利用金相显微镜和原子力显微镜(AFM)在清洗前后进行对比分析,实验采用聚乙烯醇(PVA)刷子分别对铜片和铜布线片进行清洗,发现非离子界面活性剂能够有效去除化学机械抛光后表面吸附的杂质,达到了较好的清洗效果。
其他文献
<正>网站地址电话传真Email:http://www.rainforest-alliance.org/:233 Broadway,28th Floor,New York,NY 10279 USA:+1(212)677-1900:+1(212)677-2187:info@ra.org雨林联盟(
每年的全国两会，来自上海的全国政协委员都备受关注。一年多来，上海自贸区又因其可复制、可推广的经验吸引了更多外贸进出口业界人士的眼球。众所周知，上海检验检疫局为自贸区的
忙完高考,选报志愿是考生面临的又一新的课题,考生面对各校招生计划,不知如何下手。特别是艺术类考生,要考虑文化课、专业课双重因素,艺术考生想要科学合理选报志愿,先要了解
二十一世纪的中国农村,在基本解决农民温饱问题后开始强化政府的公共服务职能。因此,坚持政府的领导,逐步实现农村公共物品的供给模式由政府主导型向市场主导型转变,充分发挥
劫持航空器犯罪作为危害航空安全中最严重的犯罪行为,世界各国纷纷以国际航空公约为主导,结合各国国情制定了相应的国内法,对该犯罪进行规制。我国对该类犯罪也始终保持依法
目的:将预防性鞘内注射化疗用于急性早幼粒细胞白血病(APL)患者,探究临床疗效。方法:选取2012年5月~2018年7月收治的64例APL患者,随机分成观察组(n=32)与对照组(n=32)。观察
本研究试图通过对不同宗教信仰下的柯尔克孜族和汉族在婚姻习俗和婚姻状况方面差异的分析 ,探讨不同民族间的婚姻差异对生育水平的影响。
国家支持郑州建设国家中心城市,文化在中心城市建设中所起的作用十分重要,郑州地处中原,有得天独厚的文化优势,而公共文化在文化中又是重中之重,文化作为助推中心城市发展的
<正>笔者几年来采用浙贝粉外敷法治疗痤疮106例,取得较好效果,现报道如下。1一般资料106例痤疮患者中,男62例,女44例;年龄14～20岁82例,21～28岁24例;病程7日～3年;额面部痤疮90例,
在梳理智力资本理论和外来智力资本要素牵动高新区产业升级理论的基础上，结合欠发达地区高新区内智力资本和企业实力状况，阐述外来智力资本牵动高新区产业升级模式的内涵、内容