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【摘 要】
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1 全球真空设备市场根据日本真空协会 ( JVIA)统计 ,1 998年全球真空产业产值约为 1 0 0亿美元 ,其中 ,70 %为真空设备 ,30 %为真空零部件。在 70亿美元的真空设备产值中 ,7
【机 构】
：
电子科技大学信息材料工程学院,电子科技大学信息材料工程学院 四川成都610054,四川成都610054
【出 处】
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真空
【发表日期】
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2002年01期
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