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设计了一款用于激光雷达的CMOS单光子飞行时间图像传感器.该传感器集成了16个结构优化的单光子雪崩二极管像素和一个双计数器结构的13-bit时间数字转换器电路.每个像素单元包括一个新型的主动淬灭-恢复电路.该设计通过优化器件的保护环来降低器件的暗噪声;带有反馈回路的主动淬灭-恢复电路用于降低死时间;时间数字转换器采用双计数器结构来避免计数器的亚稳态导致的计数错误.基于CMOS 180 nm标准工艺制作了该传感器.测试结果表明:在1 V的过偏压下,单光子雪崩二极管列阵的中值暗计数率为8 kHz;在550 nm波长光照下探测效率最高,为18％;设计的主动淬灭-恢复电路将死时间有效降低至8 ns;时间数字转换器的分辨率为416 ps,帮助整个系统实现厘米级距离分辨率.该传感器在0.5 m距离下实现了空间分辨率为320×160的深度图像,其测距的最大非线性误差为1.9％,准确度为3.8％.