【摘 要】
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Typically,the achievable positioning bandwidth for piezo-actuated nanopositioners is severely limited by the first,lightly-damped resonance.To overcome this issue,a variety of open-and closed-loop control techniques that commonly combine damping and track
【机 构】
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StateKeyLaboratoryofMechanicalSystemandVibration,StateKeyLaboratoryofFluidPowerandMechatronicSystems
【基金项目】
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This work was supported in part by the National Natural Science Foundation of China(Grant Nos.U2013211 and 51975375),the Open Foundation of the State Key Laboratory of Fluid Power and Mechatronic Syst
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Typically,the achievable positioning bandwidth for piezo-actuated nanopositioners is severely limited by the first,lightly-damped resonance.To overcome this issue,a variety of open-and closed-loop control techniques that commonly combine damping and track
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