【摘 要】
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在触针式轮廓测量仪中，性能优良的测量机构是保证触针与被测表面之间“接触测量”的关键部件。本文采用十字片簧弹性支承作为触针的运动支承，并在其特性分析的基础上，进行了参数
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在触针式轮廓测量仪中，性能优良的测量机构是保证触针与被测表面之间“接触测量”的关键部件。本文采用十字片簧弹性支承作为触针的运动支承，并在其特性分析的基础上，进行了参数设计。实验测得：测量力变化率为３５．６Ｎ／ｍ，固有频率达到１９．２Ｈｚ。最后，通过仿真实验得到测量机构运动中回转中心偏移情况。
In the stylus profilometer, a well-performing measuring mechanism is a key component to ensure “contact measurement” between the stylus and the surface under test. In this paper, the leaf spring elastic support as the stylus movement support, and its characteristics analysis, based on the parameter design. The experiment measured: the rate of change of measuring force is 35.6N / m, the natural frequency reaches 19.2Hz. Finally, through the simulation experiment, the displacement of the center of rotation of the measuring mechanism is obtained.
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