Au/Si体系离子束混合层的透射电镜研究

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用剖面制样技术对在150K、293K、373K温度下Ar离子束混合的Au/Si界面层进行了透射电镜研究,获得不同深度的一些结构细节。 The cross-sectional sample preparation was used to study the Au / Si interfacial layer mixed with Ar ion beams at 150K, 293K and 373K, and some structural details with different depths were obtained.
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