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针对铁碳微电解反应中填料易板结及处理效率低等问题,通过增加内循环装置改进反应器结构,同时将铁碳微电解与H202进行工艺耦合,用于处理多晶硅有机废水,考察了Fe-C投加量、初始pH值、H202投加量、反应时间等工艺条件对COD去除率的影响,并通过响应面法优化了工艺条件.结果表明,各工艺条件对多晶硅有机废水COD去除效果的影响大小为:铁碳投加量>反应时间>H202投加量>初始pH值,其最适宜工艺条件为:铁碳投加量250 g'L-』,初始pH值2.8,H202投加量112 mL·L/1,反应时间83 min,该反应条件下COD的去除率为71.26%.铁破/H202降解多晶硅有机废水COD的动力学回归方程为Y=0.5273X-0.6347,降解COD的速率常数为0.527 3 minT1.