论文部分内容阅读
采用环氧树脂改性超支化聚酯制备了玻璃刻蚀用的光刻胶掩膜，研究了该感光树脂的感光活性、耐刻蚀性，以及加入HCl、HNO3后刻蚀对玻璃刻蚀的影响。结果表明，所得感光树脂对玻璃有较好的附着力，厚度为40～50μm的胶膜在ω（HF）为40％的溶液中抗浮胶时间超过6min，光刻胶初始曝光时间T0为2．7s，反差值γgel为2．8；混合刻蚀剂对载玻片玻璃的刻蚀速度≥35μm／min；以该光刻胶为单层掩膜，可得到线宽50μm的清晰刻蚀图样，玻璃的刻蚀深度超过38μm。