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,Chemical Mechanical Polishing of Ge2Sb2Te5 Using Abrasive-Free Solutions of Iron Trichloride
【作 者】
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【机 构】
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State Key Laboratory of Functional Materials for Informatics, Laboratory of Nanotechnology, Shanghai
【出 处】
：
中国物理快报（英文版）
【发表日期】
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2012年3期
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