【摘 要】
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本文叙述了多圈法刻划圆形计量光栅的方法。近年来我们应用多圈法刻划,使精度提高了约一秒,即是说用单圈法刻划精度约为2″或更多些,而用多圈法刻划精度则为1″或更小些。
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本文叙述了多圈法刻划圆形计量光栅的方法。近年来我们应用多圈法刻划,使精度提高了约一秒,即是说用单圈法刻划精度约为2″或更多些,而用多圈法刻划精度则为1″或更小些。
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