【摘 要】
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北京自动化技术所与北京半导体器件二厂协作,用双色红外测温仪(电子部11所)测温,用微型机实现程序升温、恒温、降温及流量阀位自动控制。恒温精度达±1℃。该系统已于1983年
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北京自动化技术所与北京半导体器件二厂协作,用双色红外测温仪(电子部11所)测温,用微型机实现程序升温、恒温、降温及流量阀位自动控制。恒温精度达±1℃。该系统已于1983年12月16日通过鉴定。
Beijing Institute of Automation and Beijing Semiconductor Devices Plant collaboration, with two-color infrared thermometer (Ministry of Electronics 11) temperature measurement, with microcomputer to achieve program temperature, temperature, temperature and flow valve position automatic control. Temperature accuracy of ± 1 ℃. The system was approved on December 16, 1983.
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