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气相沉积技术在制备高折射率光子晶体中的应用研究
气相沉积技术在制备高折射率光子晶体中的应用研究
来源 :黑龙江科技信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户:okmijnuhbygvtfcrdx
【摘 要】
:
本文通过对荣华二采区10
【作 者】
:
李海博
李召红
赵秋玲
王霞*
【机 构】
:
青岛科技大学数理学院光电子技研究所, 青岛 266042;
【出 处】
:
黑龙江科技信息
【发表日期】
:
2008年1期
【关键词】
:
原子层沉积
化学气相沉积
激光全息光刻
激光直写技术
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本文通过对荣华二采区10<
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