【摘 要】
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Silicon carbide（SiC） material features a wide bandgap and high critical breakdown field intensity. It also plays an important role in the high efficiency and miniaturization of power electronic equipm
【机 构】
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State Key Laboratory of Advanced Power Transmission Technology, Global Energy Interconnection Resear
【基金项目】
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the support of the National Key Research and Development Program （Grant No. 2016YFB04 00500）； the Science ＆ Technology Program of the State Grid Corporation of China Co., Ltd. “High
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Silicon carbide（SiC） material features a wide bandgap and high critical breakdown field intensity. It also plays an important role in the high efficiency and miniaturization of power electronic equipment. It is an ideal choice for new power electronic devices, especially in smart grids and high-speed trains. In the medium and high voltage fields, SiC devices with a blocking voltage of more than 6.5 kV will have a wide range of applications. In this paper, we study the influence of epitaxial material properties on the static characteristics of 6.5 kV SiC MOSFET. 6.5 kV SiC MOSFETs with different channel lengths and JFET region widths are manufactured on three wafers and analyzed. The FN tunneling of gate oxide, HTGB and HTRB tests are performed and provide data support for the industrialization process for medium/high voltage SiC MOSFETs.
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