压电陶瓷驱动器——多层全面积内电极结构

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研究了多层叠片式压电陶瓷驱动器元件。电极结构与过去传统设计不同,每个内电极的面积与元件的截面积相同。它没有无压电活性的部分,因此它呈现出的应变/电场特性类似于普通的压电陶瓷。它能以相当低的电压(200V)驱动并且在连续的电压脉冲作用下是半永久性的。这种用0.65Pb(Mg_(1/3)Nb_(2/3))O_3-0.35PbTiO_3陶瓷制成的元件,其典型的性能是:在1×10~6V/m电场驱动下,应变为8.7×10~(-4);应力大于3.5×10~7N/m~2;响应时间小于100μs。 Multilayered piezoelectric ceramic actuator elements are studied. The electrode structure is different from the traditional design in the past, and the area of ​​each internal electrode is the same as the cross-sectional area of ​​the element. It has no piezoelectrically active portion, so it exhibits a strain / electric field characteristic similar to that of ordinary piezoelectric ceramics. It can be driven at a fairly low voltage (200V) and semi-permanently under the effect of a continuous voltage pulse. The typical performance of the device made of 0.65Pb (Mg_ (1/3) Nb_ (2/3)) O_3-0.35PbTiO_3 ceramics is that under the electric field of 1 × 10 ~ 6V / m, the strain is 8.7 × 10 ~ (-4); stress greater than 3.5 × 10 ~ 7N / m ~ 2; response time less than 100μs.
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