【摘 要】
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以聚氧化乙烯(PEO)为直写溶液,光泽柔性绝缘相纸作为基板材料,采用自主研制的电流体动力学近场直写(ENDW)设备直写微图案.研究了工作电压、直写高度和直写溶液的质量分数等参
【机 构】
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嘉兴学院 机电工程学院,浙江 嘉兴,314001
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以聚氧化乙烯(PEO)为直写溶液,光泽柔性绝缘相纸作为基板材料,采用自主研制的电流体动力学近场直写(ENDW)设备直写微图案.研究了工作电压、直写高度和直写溶液的质量分数等参数对PEO溶液的直写微图案宽度的影响.结果表明在使用质量分数3％的PEO溶液在进行直写时,喷嘴与基底之间的工作电压从1.1 kV增大到2.6 kV,PEO微图案的平均宽度从35.61 μm下降到23.3 μm,并且图案宽度的工艺误差从8.24μm下降到2.21 μm.随着工作电压的增大,喷嘴处的射流形态变化依次为:液滴状、弯液面、稳定射流、多股射流.同时研究发现,通过降低直写高度和增加PEO溶液的质量分数,能进一步减小微图案的宽度,并且能够提高微图案宽度的均匀性.
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