Aristo800设备腔体内部中间加热装置改造经验分享

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【摘要】

：

针对Aristo800连续镀膜线主腔室的中间加热装置由于高温变形造成基片车被卡住的现象,通过长期的观察和分析,我们对加热装置两边的挡板,从材质的改变到结构形状的改变,经过不

【作者】

：

王琦杨兵华

【机构】

：

深圳市雷莱德科技有限公司广东深圳518067深圳新南亚技术开发有限公司广东深圳518029;

【出处】

：

真空

【发表日期】

：

2017年4期

【关键词】

：

中间加热装置变形基片车绊住和卡住

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针对Aristo800连续镀膜线主腔室的中间加热装置由于高温变形造成基片车被卡住的现象,通过长期的观察和分析,我们对加热装置两边的挡板,从材质的改变到结构形状的改变,经过不断试验、反复改进、最终彻底解决了长期困扰此类镀膜线的基片车运行被卡住的顽疾.本文将自己对于该设备的改造经验加以总结供同行分享.

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